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熱式微型液體流量計F7M與傳統流量計的區別
通過將熱敏 MEMS 傳感器與高耐腐蝕石英玻璃流路相結合，我們實現了數 mL/min 的微量液體流量測量，這是使用傳統測量方法難以測量的高再現性。
開發理念易于使用，因為它不易受流體狀態變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響，并且易于針對被測流體進行校正（校正基于熱導率流體）。通過測量瞬時流量和累計流量代替泵轉速、重量測量和流體供應時間管理等替代方法，可以根據更可靠的測量值在制造過程中進行質量控制和過程異常檢測。
與傳統流量計的比較
采用利用MEMS傳感技術的熱測量原理，可以測量過去難以穩定測量的幾mL/min的微小流量。
（測量流量范圍：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）
它比傳統產品更小、更輕。
不需要單獨的轉換器（放大器）。
它可以使用隨附的安裝支架從頂面（用于水平管道）輕松安裝。
也可安裝在垂直管道中（流向：底部→頂部）。
由于流道是直的，壓力損失小，無積液，清洗方便。
符合IP65防護結構。
由于產品外表面未使用金屬材料，因此可用于易受液體飛濺的環境，提高了對腐蝕性流體的耐受性。
接液部分由石英玻璃（流路）和氟樹脂（接頭）組成，傳感器不與液體接觸，因此可用于多種流體（不腐蝕石英玻璃或聚四氟乙烯的流體）。
測量范圍因流體的熱導率和密度而異，但可以使用校正功能來匹配輸出特性。
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