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超高溫臺式多氣氛實驗爐TE系列的特點

發布日期：2023-03-24 瀏覽次數：882

超高溫臺式多氣氛實驗爐TE系列的特點

超高溫臺式多氣氛實驗爐[熱邊]最高2000°C

這是一款臺式超高溫多氣氛實驗爐，可處理氮氣、氧氣、氦氣、氬氣、氫氣等各種氣氛。

C/C復合加熱器	最高2000°C
碳化硅3涂層加熱器	最高1600°C
TiC3涂層加熱器	最高2100°C

TE系列超高溫臺式多氣氛實驗爐“熱邊"電爐從抽真空、吹掃到排氣的操作是PLC半自動式的。沒有手動打開和關閉閥門等復雜操作，并且可以通過觸摸面板進行集中管理。

臺式緊湊，您可以有效利用實驗室的有限空間。

特征

三種類型的爐子加熱器/絕緣材料擴大了碳爐的應用范圍。

C/C復合加熱器
SiC3（碳化硅）涂層加熱器
TiC3（碳化鈦）涂層加熱器

多功能功能集成在緊湊的機身中

節省空間：889（闊）x 503（深）x 629（高）mm
圓柱形加熱器（用于坩堝）、平面加熱器（用于晶圓燒制）
聯鎖（冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關閉）
PLC半自動操作：（抽真空/吹掃x 3循環排氣）
觀察視口（可選）

編程溫度控制器、觸摸屏 HMI、數字真空計和加熱器斷路器軟件等顯示器緊湊地安裝在前操作面板上。
● 溫度控制器：Eurotherm“nanodaq"或RKC PF900 ● 數字真空計：MKS微型皮拉尼壓力計
● 觸摸屏：西門子SIMATEC HMI（或三菱）

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