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準分子光處理溫度技術
用于紫外線清潔和重整光處理的紫外線燈在打開時溫度升高。 顧名思義，產生波長為185，254nm的臭氧的“低壓汞燈"，通常用于紫外線清潔和重整，是一種通過用熱量蒸封閉在燈管中的少量汞來電弧電極發射紫外線的燈。 因此，燈的溫度必須高。 另一方面，“準分子紫外燈"燈管中只有惰性氣體，沒有電極或汞。 由于惰性氣體的特性，可以瞬間產生最大的照度。 由于沒有汞，因此無需加熱燈即可發出紫外線。 當紫外線燈處于低溫時，被照射物體的溫度不會升高，因此不會損壞薄膜等易受熱影響的產品，并且由于被照射物體不需要冷卻時間，因此可以在紫外線處理后立即取出并在短時間內進行處理。 由于Exima株式會社的燈具不需要冷卻結構，因此設備成本低，結構緊湊。 有很多優點，例如。
我們從Exima株式會社的內部數據中介紹各種紫外線清洗和改造紫外線燈的溫度數據。 本數據中使用的準分子燈是初始照度為 20mW/cm2 或更高的標準燈。 其他公司生產的高照度準分子燈需要冷卻，因為它們的溫度很高，這不適用于此數據。
紫外線的波長越短，光能（光子）越強。 另一方面，當構成物質的分子被賦予強大的能量時，分子的鍵就會斷裂。 換句話說，如果紫外線的光能強于分子的結合能，分子鍵就會斷裂。
切割的分子處于不穩定狀態，因此它試圖連接到某物。 這是具有良好反應性的“潤濕性"狀態。 當與碳的有機化合物如油暴露在強光能的紫外線下時，碳鍵斷裂，如果工藝環境的大氣中有臭氧或活性氧，C和O結合并氣化為CO2，有機物分解。 這就是UVO3光清洗和改性的原理。 它的特點是僅使用光進行干處理，不使用水或化學品，并且溫度不會升高。
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