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SiC多晶的導熱性分布評估分析

發布日期：2023-05-10 瀏覽次數：1127

SiC多晶的導熱性分布評估分析

我們測量了SiC多晶（陶瓷）的熱滲透率分布，并可視化了燒結體微米量級的熱滲透率分布。此外，GaN和金剛石可以在寬帶隙材料中測量。

各種材料的熱物理特性（導熱性和熱滲透性）的分布測量現在可以以微米量級的分辨率進行。通過評估材料中熱物理性能（導熱性和導熱性）的分布，有望顯著改善高導熱材料的性能。

國家先進工業科學技術研究院先進制造工藝研究室先進燒結技術研究組。

碳化硅材料	導熱系數 [Wm-1K-1]	熱穿透 [JS-0.5m-2K-1]
4H-C 碳化硅	440	30,400
6H-C 碳化硅單晶	366	28,100
碳化硅單晶	274	24,200

用熱顯微鏡TM3評估材料的熱穿透均勻性

AlN的透熱性分布評估（AIST先進制造工藝研究部）

可以確認AlN壓痕部分的熱滲透率較低。

用熱顯微鏡TM3評估材料的熱穿透均勻性

金屬玻璃熱滲透率的評價（東京工業大學）

金屬玻璃的均勻性可以通過測量透熱性的分布來確認。

用熱顯微鏡TM3評估材料的熱穿透均勻性

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