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水蒸氣雙液清洗與超聲波/高壓清洗異物去除率比較
測(cè)量有機(jī)EL制造過程中附著在各薄膜上的異物去除率的數(shù)據(jù)，證實(shí)了與超聲波+高壓清洗相比的壓倒性差異。 異物的去除率直接影響產(chǎn)量。
| 特點(diǎn) | 無刷子等耗材，大大降低運(yùn)行成本 |
| 僅使用“純水" | |
| 顯著減少化學(xué)品的使用 | |
| 顯著提高清潔能力 | |
| 也用于清潔半導(dǎo)體 | |
| 基本配置 | 無金屬污染的蒸汽發(fā)生器 |
| 超聲波蒸汽噴射噴嘴 | |
| 與洗衣機(jī)的溝通 | |
| 蒸汽發(fā)生器 | 蒸汽產(chǎn)生量：2~100kg/h * 可提供與所需蒸汽量相對(duì)應(yīng)的尺寸。 |
| 電源： DIW， N2， CDA， 200VAC 或 100VAC | |
| 蒸汽壓力控制范圍：0.05-0.3MPa | |
| 應(yīng)用/成就示例 | 【應(yīng)用】 ?太陽能電池基板的清洗 ?LED制造中的金膜剝離 ?半導(dǎo)體制造工藝 ?玻璃基板等的清洗 ?異物和聚合物的去除 ?去除油脂、指紋等 ?醫(yī)療應(yīng)用 ?美容應(yīng)用 |
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