lintec小型氣體換熱器的特點(diǎn)及產(chǎn)品介紹

發(fā)布日期：2023-08-07      瀏覽次數(shù)：892

lintec小型氣體換熱器的特點(diǎn)及產(chǎn)品介紹

• 各種流體加熱

• 可靠的渣滓加熱

• 質(zhì)量流量控制器后氣體加熱



各種流體加熱

SUS316L加熱塊可防止加熱器與流體直接接觸，從而可以瞬時(shí)加熱不會腐蝕SUS316L的流體。

可靠的燃?xì)饧訜?/span>

在管道中流動的氣態(tài)流體很難輕易加熱和冷卻。

通常，管道中的流體加熱通過帶式加熱器從管道外部加熱，但從外部加熱使熱量難以傳遞到中心。 熱交換器 （HX） 可以立即將氣體加熱到流體中，從而實(shí)現(xiàn)可靠的流體加熱。

質(zhì)量流量控制器后氣體加熱

在半導(dǎo)體制造過程中，不僅需要加熱氣體，還需要以受控的流速加熱氣體。 因此，為了使用燃?xì)饧訜崞鞒跫墏?cè)的質(zhì)量流量控制器控制流量，需要級聯(lián)加熱器（二次側(cè)）的低壓降。 質(zhì)量流量控制器制造商 （LINTEC） 的氣體加熱器 （HX） 具有低壓降結(jié)構(gòu)。

燃?xì)饧訜崞鳟a(chǎn)品一覽



小型燃?xì)饧訜崞?[HX-0020]

• 最大流量：10SLM

• 最高：200°C



高溫?fù)Q熱器 [HX-0051H]

• 最大流量：20SLM

• 最高：300°C



小型換熱器 [HX-0050A]

• 最大流量：50SLM

• 最高：200°C



高溫?fù)Q熱器 [HX-100C]

• 最大流量：100SLM

• 最高：300°C



高溫燃?xì)饧訜崞?[HX-301L]

• 最大流量：250SLM

• 最高：300°C



高流量換熱器 [HX-300C]

• 最大流量：300SLM

• 最高：250°C



加熱過濾器 [VF-0201N]

• 最高：200°C

• 過濾器 0.1μm