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半導體行業用露點檢測設備的選擇

發布日期：2024-02-20 瀏覽次數：820

半導體行業用露點檢測設備的選擇

半導體芯片對現代社會的重要性不言而喻，是支持5G，物聯網，AI，自動駕駛汽車，智能穿戴等市場發展的關鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密，制造工藝要求也越來越精細，更嚴格的規范和生產誤差。反過來，這將更加依賴于監測和控制工藝條件的傳感器和儀器性能，盡可能降低減產或整批晶圓報廢的風險。

被稱為半導體“血液"的電子氣體是芯片制造業不可缺的，它參與蝕刻、清洗、外延生長、離子注入等各個環節。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等，隨著芯片制造工藝的小型化，半導體生產對電子氣體的純度提出了更高的要求。

在半導體制造中，水一直是影響較大的污染物之一，統計顯示，不符合工況要求的水分造成的損失占損失的 25%。為避免產品質量和產量出現問題，在半導體制造過程中必須尤為謹慎地監測濕度和溫度水平。如濕度是硅晶圓生產過程中關鍵的因素，如果空氣太干燥，靜電就會成為問題。

氣體中的露點測量是一個挑戰，以99.9999%的高純氮氣為例，其水分含量低于1ppm，也就是100萬個氣體分子中，不到1個水分子。如此微量的水分子含量，對濕度傳感器的靈敏度和準確性都是一個真正的考驗。在過往，高精度的水分儀往往伴隨著高成本，而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開發，在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

TK-100在線露點儀

電容式露點儀水分儀TK-100

特征

國內開發、國內制造、國內校準
露點測量范圍-100至+20℃dp
精度±2℃dp
高響應速度
有競爭力的定價體系
交貨快捷
完善的支持體系
可追溯至國家標準

主要用途

手套箱內的露點控制
干燥機露點檢查
熱處理爐內氣氛控制
潔凈室和干燥室的露點管理
氣體純度控制
天然氣水分管理
半導體制造設備
有機EL制造

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