兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規格緊湊型鍍膜機
DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。
配備皮拉尼真空計,確保成膜條件的再現性
標準配備手動快門
使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。
可以進行鎢涂層,因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。
將電極膜粘貼到各種設備上
用于反射薄膜生產等。
|              陰極  |                          φ2英寸直流磁控管/扁平電極  |         
|              適用對象  |                          Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al  |         
|              壓力測量  |                          皮拉尼真空計  |         
|              壓力控制  |                          帶針閥手動控制  |         
|              工藝氣體  |                          氬氣  |         
|              真空泵  |                          直聯旋轉泵:20L/min(帶自動泄漏)  |         
|              腔室尺寸  |                          內徑φ90×D90mm(SUS材質)  |         
|              樣品交換方式  |                          前門開閉方式  |         
|              尺寸(寬/深/高)  |                          機身:160/450/290mm 轉速:295.5/156/199.5mm  |         
|              重量  |                          本體:9kg RP:9kg  |