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玻璃基板摩擦裝置MRG-100介紹
薄膜基板開(kāi)發(fā)和試制用高精度配向摩擦設(shè)備
日本ehc小型摩擦裝置MRM-100
•目的：用于LCD對(duì)準(zhǔn)調(diào)查的實(shí)驗(yàn)室用拉比機(jī)
•長(zhǎng)凳型。
•基板加載：手動(dòng)
•加載/卸載位置：拉桿前后
•基板尺寸：100mm×100mm
•基板厚度：小0.1mm，2mm
•基板材料：玻璃、PC、COP等
黃色 松本
基板桌子
•速度：0～50mm/sec、1mm/sec、精度±可通過(guò)0.1mm/sec的步驟進(jìn)行調(diào)整
•移動(dòng)行程：300mm
•移動(dòng)方向：垂直于滾筒、上下方向、上下方向（自動(dòng)）
•工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)：固定
•表格表面平坦度：±10μm
•基板固定：真空發(fā)生器吸附固定
•基板定位：手動(dòng)
拉桿
•寬度：240mm
•直徑：48mm±0.01mm（以滾芯外徑定義）
•RPM：0?1500 rpm。 1rpm、精度±可通過(guò)0.1rpm的步驟進(jìn)行調(diào)整（數(shù)字顯示）
•平行度對(duì)基板表：相對(duì)于全部寬度±10μm
•平行度對(duì)臺(tái)行程：以*的拉桿行程±10μm
•旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針和逆時(shí)針
•上卷/下行程：10mm
•滾筒壓（行程）精度：±0.01 mm
•角度調(diào)整：±45°、1°可設(shè)定為單位
•布是天鵝絨黑色，吉川化工 YA-20-R 毛長(zhǎng)2mm 密度32000根/cm^2
實(shí)用程序
•電源：AC100-240V 50/60Hz，500W
•壓空：0.5MPa
•尺寸 W600 ｘ D760 ｘ H807.2mm 重量：約80kg
