日本朝日分光光學(xué)膜厚儀OMD-1000產(chǎn)品介紹

這是一種分光膜厚監(jiān)測監(jiān)視器,可在氣相沉積過程中用單色光監(jiān)測基板上的光量變化。也用于本公司自有的薄膜蒸鍍裝置,作為蒸鍍部件制造商的專有技術(shù),作為膜厚監(jiān)測裝置完成。
以往機型的波長選擇是濾光片型,但新產(chǎn)品搭載了本公司業(yè)績良好的分光器,現(xiàn)在可以選擇任意波長。
膜厚變化信號由電壓輸出轉(zhuǎn)為與個人電腦兼容的數(shù)字輸出,控制機構(gòu)由手動操作轉(zhuǎn)為個人電腦指令控制。此外,通過I/F直接與個人電腦連接,可以控制膜厚計主體,是一個非常緊湊的系統(tǒng),不需要像其他制造商那樣的控制器。
帶光譜儀的緊湊型設(shè)計
通過提高抗噪性實現(xiàn)高度可靠的膜厚監(jiān)測(靜電放電測試耐壓±5 kV)
可通過來自 PC 的命令進(jìn)行自動控制
通過將控制器集成到接收器主體中實現(xiàn)高性價比
| 模型 | OMD-1000 | 
| 光譜儀類型 | Czerny Turner 型單色 | 
| 波長范圍 | 保證范圍:380 至 900 nm 可操作 范圍:350 至 1100 nm  | 
| 波長分辨率 | 狹縫 0.5mm:4.2nm [546nm] 狹縫 1.0mm:8.3nm [546nm]  | 
| 波長精度 | ± 1.0 納米 | 
| 小波長饋電 | 0.1nm | 
| 外部控制 | RS232C | 
| 外部輸出端子 | DC0-2V(滿量程) | 
| 采樣間隔 | 100ms 或更多 | 
| 靜電放電試驗?zāi)蛪?/span> | ±5kV(實際8kV) | 
| 光源 | 12V100W鹵素?zé)?/span> | 
| 光強度穩(wěn)定性 | ±0.1%/小時以下 | 
| 輸入電壓 | AC100V 50 / 60Hz | 
| 允許輸入電壓 | AC85-132V | 
| 視在功率 | 340VA以下 | 
| 使用環(huán)境 | 溫度10-35℃ 濕度20-80%  |