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更新日期:2025-05-02
簡要描述:
日本hrd-thermal測量薄膜和微小區域熱導率TM3熱物理性質顯微鏡是測量熱滲透率的裝置,熱滲透率是熱物理性質值之一。它是一種可以通過點,線和表面來測量樣品的熱性能的設備。也可以測量微米級的熱物理性質值的分布,這在常規熱物理性質測量設備中被認為是困難的。
日本hrd-thermal測量薄膜和微小區域熱導率TM3

在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。
名稱/產品名稱  | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡  | 
測量方式  | 熱物理性質分布測量(1維,2維,1點)  | 
測量項目  | 熱滲透率,(熱擴散率),(熱導率)  | 
檢測光斑直徑  | 約3μm  | 
1點測量標準時間  | 10秒  | 
待測薄膜  | 厚度幾百納米到幾十微米  | 
重復精度  | 耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10%  | 
樣品  | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm 
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工作溫度極限  | 24°C±1°C(根據設備中內置的溫度傳感器)  | 
平臺移動距離  | ? X軸方向20mm  | 
加熱激光  | 半導體激光波長:808nm  | 
檢測激光  | 半導體激光波長:658nm  | 
電源  | 交流100V 1.5kVA  | 
標準配件  | 樣品架,參考樣品  | 
選項  | 光學壓盤,空調,空調房,飛濺裝置  |